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Ir - 400 Monitor avanzado de gas para el monitoreo del punto final de limpieza de la Cámara
Ir - 400 Monitor avanzado de gas para el monitoreo del punto final de limpieza de la Cámara
Detalles del producto
El IR - 400 puede monitorear la limpieza de la Cámara en tiempo real durante el proceso de deposiciónPunto final de lavado.Al optimizar el proceso de limpieza, el ir - 400 reduce el tiempo de limpieza y la cantidad de gas.La reducción de la cantidad de gas de limpieza reduce el daño a la Cámara y aumenta la vida útil de todos los componentes del sistema
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