Controlador de flujo de pequeño volumen del medidor de flujo de masa inteligente del medidor de flujo de masa de gas térmico

Uso y características
El controlador de flujo de masa (mfc) se utiliza para medir y controlar con precisión el flujo de masa del gas. Desempeñan un papel importante en la investigación científica y la producción en la industria de semiconductores y circuitos integrados, la disciplina de materiales especiales, la industria química, la industria, la medicina, las lámparas de vacío y otros campos. Sus aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico, como difusión, extensión, CVD、 Oxidación, grabado por plasma, pulverización, implantación de iones; Y equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, dispositivos de microreacción, sistema de distribución de gas mixto, medición capilar, cromatógrafo de gas y otros instrumentos de análisis.
Principales indicadores técnicos
Rango de medición (20,30,50100200300500) SCCM (0 a 1,2,3,5,10) SLM
Precisión + 1,5% f.s
Lineal + 0,5 a 1,5% f.s
Precisión de repetición + 0,2% f.s
Tiempo de respuesta 10 segundos características del gas: (1 a 4) segundos
Diferencia de presión de trabajo 0,1 a 0,5 MPA
Resistencia a la presión 3mpa 6mpa 10mpa
Temperatura ambiente de trabajo 0 a 70 ℃.
Protocolo modbus rs485 digital
El volumen analógico DC 0 a 5v, 4 a 20ma opcional
Características eléctricas: SLM
El suministro de energía DC + 15v / 24v es opcional, El medidor de flujo es inferior a 50ma y el controlador es inferior a 200ma.
Conexión eléctrica db15
Tasa de fuga 1 × 10 sccshe
Material de base 316L acero inoxidable
Material de sellado caucho flúor, caucho butano, caucho Cloropreno
Conexión de vía de aire 0,3, 0,6, 0,10, 1 / 8 ", 1 / 4" y 3 / 8 "
Nota: El medidor de flujo de masa y el controlador de flujo de masa generalmente se calibran con nitrógeno (n¿ en la fábrica.
La unidad de flujo de masa se especifica como: SCCM (ml / MIN estándar); SLM (l / MIN estándar)
Controlador de flujo de pequeño volumen del medidor de flujo de masa inteligente del medidor de flujo de masa de gas térmico